光源组的进度明显要比透镜组的进度要慢得多。

    因为透镜组完成的只是按照图纸完成组装而已，核心的光掩膜延用上一代，一天就能拿下。

    但是负责光源的小组就会面临很多前所未有的难题。

    比如液态金属锡低落的时间，激光发射的时间，命中率等等。

    图纸可以把硬件做出来，但是这些精准的数据，需要将各种公式和逻辑放入系统之中，让系统来操控。

    所以，给光源的部分设计一个系统才是重点。

    如果滴落的液态金属锡过大，那么激光的强度就会衰弱。

    就好比扬起一把沙子之后在用光照射，那么沙子的浓度越高，光就越难以穿透。

    如此一来，控制一滴金属锡的大小浓度需要经过计算。

    取到一个最恰当的值，录入系统，让机器来操作。

    同样的还有命中率。

    极紫外光和合成最关键的就是用深紫外光轰击液态金属锡，而且是两次！

    当液态金属锡变成雾状的离子态，必须在极短时间之内，完成第二次深紫外光的命中。

    穿过离子态金属锡的光，才能是极紫外光。

    如果命中率低，第一次没命中，或者第二次没有命中，都会错过最佳时间，导致极紫外光无法产生。

    这样下来，命中率必须达到100%！

    设计这些东西极其耗费时间。

    一周的高强度工作状态下，才算是搞定了这个巨大核心。

    而另一边的移动工件台是有一个不弱于光源组的难点。

    有何毅伟坐镇，当陆晨加入工作的时候，移动工件台的一些难点已经克服。

    三大核心用了半个多月才终于完成。

    ...............

    光刻机的内部硬件已经组装完毕。

    又过了几天，光刻机已经成型。

    他们开始了第一次芯片制造的测试。

    何毅伟和一众教授都来到了实验室的总控台。

    陆晨为了观察光刻机的一些运作情况，穿上了防尘服，进入净室。

    看到陆晨进来，几个工作人员纷纷打招呼。

    陆晨点点头，来到了光刻机的旁边。

    这台光刻机经过他的设计之后，体积远远没有国外的庞大。

    国外的光刻机得有一个集装箱的大小，但是陆晨设计的这一款，只有一半的体积。

    在经过他的检测之后，光刻机的状态全部确认完毕。

    给总控台比了个手势，净室里的扬声器传来了声音。

    “第1次光刻实验，启动！”

    总控台一声令下，涂胶后的晶圆被机械臂吸起，放到了光刻机的履带上。

    随着履带的转动，晶圆进入了机器。

    “光源放光！”

    指令还没说完，光刻机的屏幕突然一黑。

    “怎么回事？”

    主控台传来疑问。

    “报告，液态金属锡未被击中，滴落面板导致短路！”

    实验显然以失败告终！

    陆晨眉头皱了起来。

    没有命中，这说明光源的部分还是出了问题。

    需要再次调校才能开始第二次试验。

    大家并没有气馁。

    因为成功一定是一次次的失败之后才能出现的！

    停机修整之后。

    很快，第二次实验开始。

    “报告，双移动工件台同步对准出现异常，导致光刻胶涂层大面积曝光！”

    第三次。

    “报告，芯片良率太差！”

    第四次……

    第五次……

    经过很多次失败之后，科研小队渐渐开始着急了起来。

    所有人都在反复确认各项数据和资料，因为这样每拖一天，都是极大的损耗！

    凌晨三点。

    大部分的工作人员全部下班回到了宿舍休息。

    而在办公楼上，还有一个房间在亮着灯。

    会议室内，各个小组的负责人开始向陆晨汇报检查结果。

    每次试验失败，都要各个小组回到办公室重新做一遍排查。

    每一个细节，每一个关键点！

    都要像重新制作一样，重新开始。

    科研是枯燥的。

    很多科研项目一拖就是好几年，很大部分时间，就是在重复的排查上被浪费！

    不过陆晨心里并没有太多压力，这几天他逐个排查各个小组工作。

    从透镜组到光源组，然后是移动工件台，还有各种系统源文件。

    一项项都没有问题，只有最后的系统文件没有查看。