第三十二章:光刻机最大问题找到!何院士:这小子什么时候还学会编程了!? 第(1/2)分页

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    光源组的进度明显要比透镜组的进度要慢得多。

    因为透镜组完成的只是按照图纸完成组装而已,核心的光掩膜延用上一代,一天就能拿下。

    但是负责光源的小组就会面临很多前所未有的难题。

    比如液态金属锡低落的时间,激光发射的时间,命中率等等。

    图纸可以把硬件做出来,但是这些精准的数据,需要将各种公式和逻辑放入系统之中,让系统来操控。

    所以,给光源的部分设计一个系统才是重点。

    如果滴落的液态金属锡过大,那么激光的强度就会衰弱。

    就好比扬起一把沙子之后在用光照射,那么沙子的浓度越高,光就越难以穿透。

    如此一来,控制一滴金属锡的大小浓度需要经过计算。

    取到一个最恰当的值,录入系统,让机器来操作。

    同样的还有命中率。

    极紫外光和合成最关键的就是用深紫外光轰击液态金属锡,而且是两次!

    当液态金属锡变成雾状的离子态,必须在极短时间之内,完成第二次深紫外光的命中。

    穿过离子态金属锡的光,才能是极紫外光。

    如果命中率低,第一次没命中,或者第二次没有命中,都会错过最佳时间,导致极紫外光无法产生。

    这样下来,命中率必须达到100%!

    设计这些东西极其耗费时间。

    一周的高强度工作状态下,才算是搞定了这个巨大核心。

    而另一边的移动工件台是有一个不弱于光源组的难点。

    有何毅伟坐镇,当陆晨加入工作的时候,移动工件台的一些难点已经克服。

    三大核心用了半个多月才终于完成。

    ...............

    光刻机的内部硬件已经组装完毕。

    又过了几天,光刻机已经成型。

    他们开始了第一次芯片制造的测试。

    何毅伟和一众教授都来到了实验室的总控台。

    陆晨为了观察光刻机的一些运作情况,穿上了防尘服,进入净室。

    看到陆晨进来,几个工作人员纷纷打招呼。

    陆晨点点头,来到了光刻机的旁边。

    这台光刻机经过他的设计之后,体积远远没有国外的庞大。

    国外的光刻机得有一个集装箱的大小,但是陆晨设计的这一款,只有一半的体积。

    在经过他的检测之后,光刻机的状态全部确认完毕。

    给总控台比了个手势,净室里的扬声器传来了声音。

    “第1次光刻实验,启动!”

    总控台一声令下,涂胶后的晶圆被机械臂吸起,放到了光刻机的履带上。

    随着履带的转动,晶圆进入了机器。

    “光源放光!”

    指令还没说完,光刻机的屏幕突然一黑。

    “怎么回事?”

    主控台传来疑问。

    “报告,液态金属锡未被击中,滴落面板导致短路!”

    实验显然以失败告终!

    陆晨眉头皱了起来。

    没有命中,这说明光源的部分还是出了问题。

    需要再次调校才能开始第二次试验。

    大家并没有气馁。

    因为成功一定是一次次的失败之后才能出现的!

    停机修整之后。

    很快,第二次实验开始。

    “报告,双移动工件台同步对准出现异常,导致光刻胶涂层大面积曝光!”

    第三次。

    “报告,芯片良率太差!”

    第四次……

    第五次……

    经过很多次失败之后,科研小队渐渐开始着急了起来。

    所有人都在反复确认各项数据和资料,因为这样每拖一天,都是极大的损耗!

    凌晨三点。

    大部分的工作人员全部下班回到了宿舍休息。

    而在办公楼上,还有一个房间在亮着灯。

    会议室内,各个小组的负责人开始向陆晨汇报检查结果。

    每次试验失败,都要各个小组回到办公室重新做一遍排查。

    每一个细节,每一个关键点!

    都要像重新制作一样,重新开始。

    科研是枯燥的。

    很多科研项目一拖就是好几年,很大部分时间,就是在重复的排查上被浪费!

    不过陆晨心里并没有太多压力,这几天他逐个排查各个小组工作。

    从透镜组到光源组,然后是移动工件台,还有各种系统源文件。

    一项项都没有问题,只有最后的系统文件没有查看。