第96章 光刻机 第(2/2)分页
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他的眼睛紧紧盯着测量仪器上的数值变化,目光锐利得不放过任何一个细微得几乎可以忽略的偏差。哪怕是极其微小的波动,都能引起他的高度警觉,然后迅速思考可能的原因和解决方案。
接着,他把注意力转向了光刻机的光学系统。他小心翼翼地清洁和校准透镜和反射镜,通过复杂的计算和精确的操作,努力使光线能够以最理想的方式聚焦和传播。在这个过程中,他遇到了光线散射和聚焦不准确的问题,但他没有丝毫气馁,而是反复查阅相关的理论知识,不断尝试新的方法和角度。
对于光刻胶的选择和优化,武落平同样投入了巨大的精力。他测试了多种不同成分和特性的光刻胶,观察它们在不同光线条件下的反应,寻找最适合当前光刻机系统的那一款。