随着中控室的一声令下，科研人员在控制面板输入了指令。

    不一会儿，机械臂吸附起了一块12英寸的晶圆。

    放入正在传送的履带上之后，晶圆被拖动进入了黑色的光刻机之中。

    旁边的操作人员紧张的汇报着数据。

    因为过于紧张，连声音都有些颤抖。

    “报告……系统程序启动成功！”

    “电压稳定设备运行正常！”

    “监控设备运行正常！”

    “EDA软件运作正常。”

    “……”

    一个个汇报声传来，每一个声音都是对一个步骤的确认。

    在各个工序全部确认完毕之后，极紫外光刻机终于启动了！

    “光源放光！”

    此时整个研究室鸦雀无声，落针可闻！

    看着屏幕上的缓缓拖动的进度条，大家仿佛开始在幻想，光刻机里正在发生的事情。

    由40千瓦驱动的深紫外光脉冲照射在从上方滴落的液态金属锡上，金属锡被轰成等离子体，随后光源再次放光，深紫外光闯过离子态的锡雾，变成了极紫外光的动感光波。

    光线闯过透镜组，经过重重聚焦集束，随后反射折射，最终落在移动工件台的表面。

    台上托着的硅片被光线照射，表层的光刻胶因为曝光而疲软溶解，晶体管的纹路就如同雨后春笋一样冒了出来。

    没错，光刻机不是用光来雕刻硅片，而是用光来腐蚀“见光死”的光刻胶。

    陆晨仿佛可以听到，机器中滴落的液态金属锡被光脉冲轰击的声音。

    其实这个过程发出的声音，以人类的耳朵根本不可能捕捉。

    但是他总感觉能隐约听到，那种光脉冲释放时发出的，仿佛急促大风的呼啸声。

    除了仪器发出的细微声响之外。

    整个净室，哪怕大家相距胜远，都能听到彼此的呼吸和心跳！

    陆晨目光在这一刻死死地盯着主控台的主屏幕，看着显示屏幕上的光刻进度条。

    进度条一点点的衍生，他的手心微微发汗。

    这是他第一次负责这种国家级的项目，紧张在所难免。

    最关键的是，他已经完成了全部的问题排查！

    各个部门，各个小组！

    甚至每一个人的工作。

    全部被他查了一遍！

    如果这样还无法成功，那么就说明，这个图纸出了问题！

    极紫外光刻机太重要了。

    有了它，只要有了芯片图纸，就可以制造出来相应的芯片！

    无论是现在的7nm，或者国外刚刚出来的5nm，还是传言三年后才能研发出来的3nm！

    极紫外光刻机都可以做到！

    终于，在大家的期待之下，进度条成功拉满！

    一块晶圆被吐了出来，机械臂再度将其抓起，放入了烘焙机。

    按理来说，这一步光刻机的工作已经完成。

    但是这并不代表成功。

    因为没人能知道，这块芯片是否具备实用性。

    就好像是超市买的包子，谁知道里面有多少馅儿？

    硅片曝光之后进行后烘，将近一百度的热风吹了硅片一分钟。

    加热后光刻胶之中的光化学反应充分完成，消除掉光刻胶显影之后因为驻波效应产生的纹路。

    这还没有完成。

    硅片很快被放入了刻蚀机。

    这个步骤不复杂，只是将暴露的单晶硅腐蚀掉一层。

    露出光刻后的凹槽。

    然后注入离子，让单晶硅拥有晶体管开关的特性。

    在用铜进行晶体管间的连接工作。

    在芯片彻底产出之前，大家都不敢说话。

    时间一分一秒过去，终于到了切割的步骤。

    终于，晶圆被切割成了700片小的芯片。

    陆晨这个时候立刻上去开始查看数据。

    随后他疲惫的脸上露出了一抹轻松。

    他看向自己的老师，对方已经明白了结果。

    “我宣布，国产第一台极紫外光刻机，研制成功！”

    声音徐徐落下，所有科研人员都猛地起身，发出了雷鸣一般的掌声！

    甚至有的人激烈的拥抱在了一起！

    “成功了！！！！价值十亿的光刻机啊！！！！”

    “总算打破垄断了！！”

    “现在，我们在议价方面底气十足！”

    “……”

    极紫外光刻机就是炒锅！

    有了锅，就不怕做不出饭！

    接下来，只要研究出5nm或者3nm的图纸，这台光刻机都可以进行生产！