第123章 科学院光电所光刻机存在的致命问题 第(2/2)分页

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    “所以,现在光电所的光刻机什么情况?”纪弘开口问道。

    “单次曝光最高线宽分辨力达到22n线宽,双重曝光能够实现10n别的芯片制造。”

    纪弘看着孙博,那眼神仿佛在说:“你在逗我!”

    “这是真的,而且超分辨率光刻技术,是没有技术壁垒的,不涉及其他任何家的专利……”

    “好了,你说‘但是’吧!”纪弘说道。

    “但是……”孙博自己也笑了:“现在还只应用在科研领域。”

    “为什么,不能量产?”

    “量产是没有问题的,但是,超分辨率光刻机聚焦面积小,几乎是接触式光刻,而且是直写式的。缺点很致命,这你明白吧?”

    纪弘很想说,我明白个嘚儿我明白,我不研究这个:“说清楚一些,具体是哪方面的问题。”

    孙博这才想起,纪弘好像是土木专业,自学的编程和AI,光刻机他可能还真不太懂,于是解释道:

    “做周期的线、点、光栅部件,举个简单的例子:我们就画两条线,这台光刻机是能实现单次线宽22n,如果图形复杂了,那就不行,做不了。”

    这么一说,纪弘明白了。

    芯片,尤其是现在的芯片,动不动在平方毫米级别的硅片上,刻画几百亿个晶体管场效应管什么的,甚至还是多层光刻。

    图案的复杂度完全就不是一个量级的,只能光刻周期性的“点”和“线”,这差距也太大了一点儿。

    “所以,王华新院士听了刘向东院士的介绍之后,才那么火急火燎的说要过来,他想看的就是你这边能不能有什么解决方案。”

    孙博感叹道:“从简单到复杂,还真是你们类思维AI能干成的,这事儿说不定真能成。

    “而且,你知道吗,超分辨率光刻机,光源用的是365n这要成了,以后换193n直接能抵得上EUV了就!”

    纪弘笑了笑,并未绝对应承,思索着确实可行,但是具体情况的话,还需要看训练的成效。

    (本章完)